半導體無塵室設計規(guī)范
第一章 總則
第1．0．1條 潔凈廠房設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關方針政策，做到技術
先進、經(jīng)濟合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。
第1．0．2條 本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設計，但不適用
于以細菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關防火和疏散、消防設施章節(jié)的規(guī)
定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設計。
第1．0．3條 在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，潔凈廠房設計必須根
據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術設施。
第1．0．4條 潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運
行創(chuàng)造必要的條件。
第1．0．5條 潔凈廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現(xiàn)行的國家標
準、規(guī)范的有關要求。
第二章 空氣潔凈度等級
第2．0．1條 空氣潔凈度應按表2．0．1規(guī)定劃分為四個等級。
空氣潔凈度 表2．0．1
等級 每立方米（每升）空氣中≥0.5微米塵粒數(shù) 每立方米（每升）空氣中≥5微米塵粒數(shù)
100級 ≤35×100（3.5）
1000級 ≤35×1000（35） ≤250（0.25）
10000級 ≤35×10000（350） ≤2500（2.5）
100000級 ≤35×100000（3500） ≤5000（25）
注: 對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計數(shù)，應進行多次采
樣，當其多次出現(xiàn)時，方可認為該測試數(shù)值是可靠的．
第2．0．2條 潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應以動態(tài)條件下測試的塵粒
數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應符合附錄二規(guī)定。
第三章 總體設計
第一節(jié) 潔凈廠房位置選擇和總平面布置
第3．1．1條 潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求并經(jīng)技術經(jīng)濟方案比
較后確定：
一、應在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域；
二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的
工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域，如不能遠離嚴重
空氣污染源時，則應位于其最大頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側；
三、應布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地區(qū)。
第3．1．2條 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定
周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進行
分析比較。
第3．1．3條 潔凈廠房最大頻率風向上風側有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之
間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。
第3．1．4條 潔凈廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。
第3．1．5條 潔凈廠房周圍宜設置環(huán)形消防車道（可利用交通道路）。如
有困難時，可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
第3．1．6條 潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性好、發(fā)塵少的材新。
第3．1．7條 潔凈廠房周圍應進行綠化?？射佒膊萜?、種植對大氣含塵濃
度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)，但不得妨礙消防操作。
第二節(jié) 工藝布置和設計綜合協(xié)調(diào)
第3．2．1條 工藝布置應符合下列要求：
一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設備以及有
空氣潔凈度等級要求的工序和工作室；
二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空
氣調(diào)節(jié)機房；空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置；靠近潔凈區(qū)入口
處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室；
三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應布置在上風側易產(chǎn)生污染的工藝設
備應布置在靠近回風口位置；
四、應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口；
五、應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈區(qū)之前必
須進行清潔處理。
第3．2．2條 潔凈廠房內(nèi)宜少設隔間，但在下列情況下可予以分隔：
一、按生產(chǎn)的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，
或有防火分隔要求者；
二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采
取局部措施加以控制者；
三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。
第3．2．3條 潔凈廠房的平面和空間設計，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料
凈化和其他輔助用房進行分區(qū)布置。同時應考慮生產(chǎn)操作、工藝設備安裝和維修、
氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術設施的綜合協(xié)調(diào)效果。
第3．2．4條 潔凈廠房設計必須合理確定各種管線的平面位置和堅向標高。
第3．2．5條 潔凈廠房內(nèi)各種固定技術設施（如送風口、照明器、回風口、
各種管線等）的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求
第三節(jié) 噪聲控制
第3．3．1條 潔凈室內(nèi)的噪聲級，應符合下列要求：
一、動態(tài)測試時，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應超過70分貝A。
二、空態(tài)測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A；層流潔凈室的噪
聲級不應大于65分貝A。
注：①由于技術經(jīng)濟條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時，噪聲
級可適當放寬，但不宜大于75分貝A；
②上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個工作點人耳位置（人離開）的測量值。對于
變動噪聲，則取相同位置處在一個正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級。
第3．3．2條 潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用倍頻程聲壓級；各頻帶聲壓
級值不宜大于表3．3．2的規(guī)定。
噪聲頻譜限制 表3．3．2
倍頻程＼中心頻＼高聲＼率潔凈＼壓值＼（赫）室分類＼（分貝） 63 125 250 500 1000 2000 4000 8000
空態(tài) 亂流 79 70 63 58 55 52 50 40
層流 83 74 68 63 60 57 55 54
動態(tài) 87 78 72 68 65 62 60 59
第3．3．3條 潔凈廠房的平、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護
結構應有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。
第3．3．4條 潔凈室內(nèi)的各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超
過潔凈室允許值的設備，應設置專用隔聲設施（如隔聲間、隔聲罩等）。
第3．3．5條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、
隔振等控制措施。
除事故排風外，應對潔凈室內(nèi)的排風系統(tǒng)進行減噪設計。
第3．3．6條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求，風管內(nèi)風速宜
按下列規(guī)定選用：
一、總風管為6--10米／秒；
二、無送、回風口的文風管為6～8米／秒；
三、有送、回風口的文風管為3～6米／秒。
第3．3．7條 潔凈廠房的噪聲控制設計必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要
求，不用因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。
第四節(jié) 微振控制
第3．4．1條 潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設備（包括水泵
等）及其通往潔凈室的管道，應采取積極隔振措施。
第3．4．2條 對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應測定其對潔凈廠房的綜合振動
影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應與精密設備、
精密儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的田振措施。
第3．4．3條 精密設備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發(fā)塵量、
保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振臺座時，應對氣溫進
行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。
第四章 建筑
第一節(jié) 一般規(guī)定
第4．1．1條 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應具有適當?shù)撵`活性。潔
凈區(qū)的主體結構不宜采用內(nèi)墻承重。
第4．1．2條 潔凈室的高度以凈高控制，凈高應以100毫基本模數(shù)。
第4．1．3條 潔凈廠房主體結構的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，
并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區(qū)應符合抗震設計規(guī)定）。
廠房變形縫應避免穿過潔凈區(qū)。
第4．1．4條 送、回風管和其他管線需暗敷時，應設置技術夾層、技術夾
道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。
第4．1．5條 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設計和構
造的處理，應避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利影響。
第二節(jié) 人員凈化和物料凈化設施
第4．2．1條 潔凈廠房內(nèi)應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根
據(jù)需要設置生活用室和其他用室。
第4．2．2條 人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣
室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。
廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室，
可根據(jù)需要設置。
第4．2．3條 人員凈化用室和生活用室的設計，應符合下列要求：
一、人員凈化用室的入口處，應設凈鞋器。
二、存外衣室和潔凈工作服室應分別設置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應按
設計人數(shù)每人設一柜。
三、盥洗室應設洗手和烘干設備。水龍頭應按最大班人數(shù)每10人設一個。
四、潔凈區(qū)不得設廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應設前室。
五、空氣吸淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并應與潔凈工作服室相鄰。單人
空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設一臺。當僅為100級垂直層流潔凈室時，可改
設氣閘室。
潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。
第4．2．4條 人流路線應避免往復交叉。人員凈化用室和生活用室的布置，
一般按圖4．2．4的人員凈化程序進行布置。
第4．2．5條 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內(nèi)人
員凈化用室和生活用室的建筑面積應合理確定。一般可按潔凈區(qū)設計人數(shù)平均每
人4～6平方米計算。
第4．2．6條 潔凈工作服室內(nèi)，對空氣凈化應有一定的要求。
